用光刻法处理薄金属片的方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN87102767.4
申请日
1987-04-10
公开(公告)号
CN87102767A
公开(公告)日
1987-10-28
发明(设计)人
山本纪雄 川崎腾 神鸟武文 安滕良一
申请人
申请人地址
日本京都市
IPC主分类号
C23F100
IPC分类号
代理机构
上海专利事务所
代理人
刘庆玫
法律状态
视为撤回的专利申请
国省代码
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共 50 条
[1]
薄金属片径向轴承 [P]. 
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[10]
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