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在光学基片上蒸镀镀膜的真空镀膜设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN97111505.2
申请日：
1997-05-09
公开(公告)号：
CN1170774A
公开(公告)日：
1998-01-21
发明(设计)人：
R·苏特
申请人：
申请人地址：
瑞士库斯纳茨
IPC主分类号：
C23C1450
IPC分类号：
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
赵辛;蔡民军
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-06-23 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 号牌文件类型代码:1611 号牌文件序号:101729158596 IPC(主分类):C23C 14/50 专利号:ZL971115052 申请日:19970509 授权公告日:20031210 终止日期:无 |
| 2003-12-10 | 授权 | 授权 |
| 2008-10-22 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 变更事项:专利权人 变更前:萨蒂斯真空工业销售股份公司 变更后:萨蒂斯洛股份公司 变更事项:地址 变更前:瑞士库斯纳茨 变更后:瑞士巴尔 |
| 1999-08-04 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |
| 1998-01-21 | 公开 | 公开 |