低温冷阱和具有该低温冷阱的真空处理设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880001276.4

申请日：

2008-05-13

公开(公告)号：

CN101568727A

公开(公告)日：

2009-10-28

发明(设计)人：

青木一俊冈田隆弘驹井久纯望月勋荒井德光

申请人：

申请人地址：

日本神奈川

IPC主分类号：

F04B3716

IPC分类号：

B01D800 B01J300 F04B3708

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

刘志强

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-12-23	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-10-28	公开	公开
2010-06-02	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101002457318 IPC(主分类):F04B 37/16 专利申请号:2008800012764 变更事项:申请人变更前权利人:佳能安内华科技股份有限公司变更后权利人:佳能安内华股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:日本神奈川变更后权利人:日本神奈川登记生效日:20100421
2011-08-17	授权	授权

共 50 条

[1]

低温冷阱 [P].

安田淳一 ;

村山吉信 ;

森本秀敏 .

中国专利 :CN106352663B ,2017-01-25

[2]

低温冷阱 [P].

安田淳一 ;

村山吉信 ;

森本秀敏 .

中国专利 :CN106345137A ,2017-01-25

[3]

超薄低温冷阱 [P].

钱进 .

中国专利 :CN220918193U ,2024-05-10

[4]

一种低温冷阱 [P].

张宝卷 ;

林斌 .

中国专利 :CN218474899U ,2023-02-14

[5]

一种低温冷阱 [P].

汪艳 .

中国专利 :CN121041723A ,2025-12-02

[6]

一种低温冷阱 [P].

曾立民 ;

刘兴隆 .

中国专利 :CN101337135A ,2009-01-07

[7]

一种超薄低温冷阱 [P].

林峰 ;

林森 ;

邵莉 ;

张纤依 .

中国专利 :CN221257056U ,2024-07-02

[8]

一种新型低温冷阱 [P].

曹桂英 .

中国专利 :CN206184027U ,2017-05-24

[9]

用于油扩散泵的低温冷阱 [P].

张辉 .

中国专利 :CN204709851U ,2015-10-21

[10]

冷阱、真空系统和半导体处理设备 [P].

栾大为 .

中国专利 :CN110384945A ,2019-10-29

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