用于控制等离子体偏斜的远程等离子体源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610141134.4

申请日：

2016-03-11

公开(公告)号：

CN105977125B

公开(公告)日：

2016-09-28

发明(设计)人：

A·A·哈贾 M·阿优伯 R·博卡 J·D·平森二世 J·C·罗查-阿尔瓦瑞斯

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

黄嵩泉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-02-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20160311
2016-09-28	公开	公开
2019-07-19	授权	授权

共 50 条

[1]

用于等离子体室中的均匀等离子体分布的等离子体源 [P].

金南宪 .

中国专利 :CN101040366A ,2007-09-19

[2]

远程等离子体源和具有所述远程等离子体源的等离子体处理腔室 [P].

杨扬 ;

K·拉马斯瓦米 ;

F·斯李维亚 ;

I·尤瑟夫 .

美国专利 :CN121153099A ,2025-12-16

[3]

等离子体源 [P].

酒井滋树 ;

高桥正人 .

中国专利 :CN1269692A ,2000-10-11

[4]

等离子体源 [P].

藤田秀树 ;

糸井骏 .

中国专利 :CN109119314A ,2019-01-01

[5]

等离子体源 [P].

S·克拉斯尼特泽 ;

J·哈格曼恩 .

中国专利 :CN105144338A ,2015-12-09

[6]

等离子体源 [P].

井内裕 ;

谷井正博 .

中国专利 :CN103779155B ,2014-05-07

[7]

等离子体源 [P].

井内裕 .

中国专利 :CN304546178S ,2018-03-20

[8]

等离子体源 [P].

加里·普劳德富特 ;

克里斯托弗·戴维·乔治 ;

保罗·埃杜拉多·利马 .

中国专利 :CN101490794A ,2009-07-22

[9]

等离子体源 [P].

维克托·贝利多-刚扎雷兹 .

中国专利 :CN104718598A ,2015-06-17

[10]

等离子体源 [P].

弗洛林·丹尼尔·多米尼克 ;

文森特·勒克莱尔 ;

埃里克·西尔伯伯格 ;

阿兰·丹尼尔 .

中国专利 :CN104996000B ,2015-10-21

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