硅片快速冷却装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720397305.X

申请日：

2017-04-14

公开(公告)号：

CN206602103U

公开(公告)日：

2017-10-31

发明(设计)人：

孙铁囤汤平姚伟忠

申请人：

申请人地址：

213000 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258

代理人：

郑云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-31	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片快速冷却装置 [P].

孙铁囤 ;

汤平 ;

姚伟忠 .

中国专利 :CN107068596A ,2017-08-18

[2]

一种硅片快速冷却装置 [P].

王永超 ;

郭城 ;

吕明 ;

李忠泉 .

中国专利 :CN208501151U ,2019-02-15

[3]

一种硅片快速冷却装置 [P].

陈忠海 .

中国专利 :CN207743200U ,2018-08-17

[4]

一种硅片快速冷却装置及其冷却方法 [P].

武帅帅 .

中国专利 :CN114508897A ,2022-05-17

[5]

硅片冷却装置 [P].

陈浩 .

中国专利 :CN222721897U ,2025-04-04

[6]

稳定快速冷却装置 [P].

桥本真喜 ;

刘鹏飞 .

中国专利 :CN220367551U ,2024-01-19

[7]

硅片冷却装置 [P].

杨爱静 ;

李翔虹 ;

李跃恒 ;

屈小勇 ;

吴翔 ;

张博 ;

高嘉庆 .

中国专利 :CN215832494U ,2022-02-15

[8]

塑料粒子快速冷却装置 [P].

龚俊 ;

龚清 ;

顾永锋 ;

张国强 ;

张恩林 .

中国专利 :CN215150848U ,2021-12-14

[9]

单晶炉快速冷却装置 [P].

周锐 ;

李侨 ;

李定武 .

中国专利 :CN203559151U ,2014-04-23

[10]

高温燃气快速冷却装置 [P].

张静霞 ;

韩慧杰 ;

林野 ;

王聚祥 .

中国专利 :CN206755215U ,2017-12-15

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