透射型光学元件的制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN202080034663.9
申请日
2020-06-30
公开(公告)号
CN113811433A
公开(公告)日
2021-12-17
发明(设计)人
荒井邦仁 泽口太一 伊藤敬志
申请人
申请人地址
日本东京
IPC主分类号
B29C5118
IPC分类号
B29C5142 B29C5144 B29C5130 B29C5146 B29L1100
代理机构
北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413
代理人
陈玲;刘继富
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
透射型光学元件、照明装置及制造方法 [P]. 
沃特里·卡利马 .
中国专利 :CN103097924B ,2013-05-08
[2]
光学元件制造方法、光学元件制造设备和光学元件 [P]. 
荣羽范子 ;
渡边清一 ;
吉冈将人 .
中国专利 :CN101657320A ,2010-02-24
[3]
光学元件的制造方法和光学元件的制造装置 [P]. 
中川裕介 ;
平田大吾 ;
三宅浩司 ;
中滨正人 ;
关博之 .
中国专利 :CN103889909A ,2014-06-25
[4]
光学元件及其制造方法 [P]. 
江黑弥生 .
中国专利 :CN101625424B ,2010-01-13
[5]
光学元件及其制造方法 [P]. 
小嶋健 .
中国专利 :CN1754674A ,2006-04-05
[6]
光学元件的制造方法 [P]. 
广濑生典 .
中国专利 :CN106458679A ,2017-02-22
[7]
制造光学元件的方法和通过该制造方法形成的光学元件 [P]. 
荣羽范子 ;
渡边清一 ;
吉冈将人 .
中国专利 :CN101802056A ,2010-08-11
[8]
透射光学元件以及使用该透射光学元件的光学系统 [P]. 
研野孝吉 .
中国专利 :CN101484834A ,2009-07-15
[9]
制造透过型的光学元件的制造方法、曝光装置、物品制造方法以及透过型的光学元件 [P]. 
高田大树 ;
须田广美 .
中国专利 :CN113848680A ,2021-12-28
[10]
光学元件制造装置的控制方法、光学元件的制造方法和光学元件制造装置 [P]. 
广濑生典 .
中国专利 :CN108137366A ,2018-06-08