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一种扩晶机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920141966.5
申请日：
2019-01-24
公开(公告)号：
CN209561342U
公开(公告)日：
2019-10-29
发明(设计)人：
王富东
蓝汉潮
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田第四工业区阿宝光耀产业园A8栋4楼
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L3348
代理机构：
深圳市鼎泰正和知识产权代理事务所(普通合伙) 44555
代理人：
代春兰
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-10-29 | 授权 | 授权 |