一种声表面波湿敏传感器的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201010208236.6
申请日
2010-06-24
公开(公告)号
CN101893604B
公开(公告)日
2010-11-24
发明(设计)人
陈裕泉 雷声 郭希山 陈大竞
申请人
申请人地址
310027 浙江省杭州市浙江大学玉泉校区周亦卿科技大楼307
IPC主分类号
G01N2900
IPC分类号
B05B508 B05B904
代理机构
杭州之江专利事务所(普通合伙) 33216
代理人
连寿金
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种新型声表面波湿敏传感器 [P]. 
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[3]
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[6]
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[8]
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[10]
声表面波温度传感器及其制备方法 [P]. 
谭秋林 ;
梁晓瑞 ;
李向荣 ;
张磊 ;
张文栋 ;
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