光阻管路的气泡检测装置及检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610192702.3

申请日：

2016-03-30

公开(公告)号：

CN107290353A

公开(公告)日：

2017-10-24

发明(设计)人：

何伟明伍强胡华勇

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

G01N21954

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

吴敏

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-25	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N 21/954 申请公布日:20171024
2017-11-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/954 申请日:20160330
2017-10-24	公开	公开

共 50 条

[1]

气泡检测装置及气泡检测方法 [P].

黄炳成 .

中国专利 :CN107656388A ,2018-02-02

[2]

光阻实时检测装置、光阻实时检测方法及光阻涂布设备 [P].

张瑞军 ;

莫超德 ;

范志翔 ;

刘文波 ;

孟小龙 ;

王松 .

中国专利 :CN108170004A ,2018-06-15

[3]

气泡检测装置及检测方法 [P].

嵇沛宸 ;

曲东升 ;

李长峰 ;

赵亚军 ;

张晋 .

中国专利 :CN113522675B ,2021-10-22

[4]

光阻剥落的检测方法 [P].

王雷 .

中国专利 :CN113506754B ,2024-01-23

[5]

光阻剥落的检测方法 [P].

王雷 .

中国专利 :CN113506754A ,2021-10-15

[6]

管路堵塞检测装置及检测方法 [P].

余少言 ;

仇明贵 ;

胡定钢 ;

刘兵 ;

赵建磊 .

中国专利 :CN104110890A ,2014-10-22

[7]

光检测装置及光检测方法 [P].

松井克宜 ;

杉山行信 ;

宅见宗则 ;

丰田晴义 ;

铃木一隆 ;

中村和浩 ;

内田圭祐 .

中国专利 :CN111819840A ,2020-10-23

[8]

光检测装置及光检测方法 [P].

松井克宜 ;

宅见宗则 ;

丰田晴义 ;

铃木一隆 ;

中村和浩 .

中国专利 :CN111837380A ,2020-10-27

[9]

光检测装置、光检测系统及光检测方法 [P].

崎村昇 .

日本专利 :CN117546040A ,2024-02-09

[10]

管路通断检测装置及检测方法 [P].

白文远 ;

郭锐 ;

徐华祥 ;

孙川 ;

钟晓文 ;

张志先 ;

李兆典 ;

袁康 .

中国专利 :CN119374649A ,2025-01-28

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