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一种集成制冷和光纤的红外单光子探测器真空封装结构
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110272437.0
申请日：
2021-03-12
公开(公告)号：
CN113035967A
公开(公告)日：
2021-06-25
发明(设计)人：
张义荣
邓仕杰
申请人：
申请人地址：
200000 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼
IPC主分类号：
H01L310203
IPC分类号：
H01L31024
H01L310232
G02B642
代理机构：
北京久维律师事务所 11582
代理人：
邢江峰
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/0203 申请日:20210312 |
| 2021-08-20 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H01L 31/0203 申请公布日:20210625 |
| 2021-06-25 | 公开 | 公开 |