一种等离子处理系统和等离子处理系统的运行方法

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专利类型
发明
申请号
CN201711480475.5
申请日
2017-12-29
公开(公告)号
CN109994358A
公开(公告)日
2019-07-09
发明(设计)人
雷仲礼 王谦
申请人
申请人地址
201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号
IPC主分类号
H01J3732
IPC分类号
代理机构
上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249
代理人
朱成之
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种等离子处理系统和等离子处理系统的运行方法 [P]. 
张辉 ;
杜冰洁 .
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东浦勉 ;
杰克A·吉尔摩 ;
约瑟夫J·奥瑟伯恩 ;
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[3]
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谢斌平 ;
王亮 ;
魏才怿 ;
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[8]
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[10]
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