一种多晶硅锭电阻率检测辅助装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201621387326.5
申请日
2016-12-16
公开(公告)号
CN206311667U
公开(公告)日
2017-07-07
发明(设计)人
杨定勇 冯立学 朱松涛
申请人
申请人地址
071400 河北省保定市蠡县东二环北路路东高新工业园区
IPC主分类号
G01R2702
IPC分类号
G01R1500
代理机构
代理人
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
多晶硅电阻率测试仪 [P]. 
林菊明 ;
曹胜华 ;
谢小平 .
中国专利 :CN203551664U ,2014-04-16
[2]
多晶硅电阻率测试仪 [P]. 
林菊明 ;
曹胜华 ;
谢小平 .
中国专利 :CN104569600A ,2015-04-29
[3]
一种用于多晶硅锭电阻率测试的抽样装置及抽样测试方法 [P]. 
郭兆满 ;
王震 .
中国专利 :CN111337543B ,2020-06-26
[4]
一种多晶硅片电阻率测试装置 [P]. 
张达奇 ;
姚铮 ;
陈曦 ;
吴坚 ;
蒋方丹 .
中国专利 :CN210405225U ,2020-04-24
[5]
多晶硅锭制造装置、多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭 [P]. 
续桥浩司 ;
胁田三郎 ;
池田洋 ;
金井昌弘 .
中国专利 :CN103003200A ,2013-03-27
[6]
多晶硅锭翻转装置 [P]. 
包剑 .
中国专利 :CN202114643U ,2012-01-18
[7]
多晶硅锭脱模装置 [P]. 
吴建科 ;
周科 .
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[8]
一种多晶硅锭制造装置 [P]. 
李川川 .
中国专利 :CN202359234U ,2012-08-01
[9]
一种多晶硅锭锁紧装置 [P]. 
陆国富 .
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[10]
一种多晶硅锭切割装置 [P]. 
梁会宁 ;
杨定勇 ;
黄辉 ;
朱庆龙 ;
宋江 .
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