一种芯片自动上料检测机构

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申请号
CN202220215690.2
申请日
2022-01-26
公开(公告)号
CN216773204U
公开(公告)日
2022-06-17
发明(设计)人
梁猛 林海涛 赵凯 倪海铨 王菲
申请人
申请人地址
201600 上海市松江区九亭镇连富路1589号3幢101室
IPC主分类号
H01L21677
IPC分类号
H01L2166
代理机构
上海远同律师事务所 31307
代理人
张坚
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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