含铜材料用蚀刻剂组合物及含铜材料的蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010219665.3

申请日：

2010-07-07

公开(公告)号：

CN101949014B

公开(公告)日：

2011-01-19

发明(设计)人：

中村裕介岸裕一郎

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23F118

IPC分类号：

H05K306

代理机构：

北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290

代理人：

李雪春;武玉琴

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-01-19	公开	公开
2012-03-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101208117625 IPC(主分类):C23F 1/18 专利申请号:2010102196653 申请日:20100707
2013-07-24	授权	授权

共 50 条

[1]

含铜材料用蚀刻剂组合物及含铜材料的蚀刻方法 [P].

正元祐次 ;

下泽正和 .

中国专利 :CN101949013A ,2011-01-19

[2]

含铜材料用蚀刻剂组合物及含铜材料的蚀刻方法 [P].

正元祐次 ;

下泽正和 .

中国专利 :CN105386055B ,2016-03-09

[3]

含铜材料用蚀刻剂组合物 [P].

池田公彦 ;

中村裕介 ;

正元祐次 ;

下泽正和 .

中国专利 :CN101498000B ,2009-08-05

[4]

含铜材料 [P].

C·M·洛克 .

中国专利 :CN1509811A ,2004-07-07

[5]

含铜材料 [P].

C·M·洛克 .

中国专利 :CN1140342C ,2001-05-02

[6]

含铜材料的湿式蚀刻系统和图案化方法 [P].

中村裕介 .

中国专利 :CN102471897A ,2012-05-23

[7]

无色含铜材料 [P].

J·拉希瑞 ;

J·G·林 ;

F·C·M·韦里耶 .

中国专利 :CN107735374B ,2018-02-23

[8]

含铜材料的处理方法 [P].

S－E·赫索姆 ;

S·埃尔玛拉 ;

T·理塔萨罗 ;

M·罗纳拉 .

中国专利 :CN101120108A ,2008-02-06

[9]

吹炼含铜材料的方法 [P].

M·拉赫蒂宁 ;

J·皮赫拉萨罗 ;

M·贾夫斯 .

中国专利 :CN106332549A ,2017-01-11

[10]

成膜组合物、含铜材料的表面处理方法、应用 [P].

方啸 ;

徐俊 ;

文军 .

中国专利 :CN118186385A ,2024-06-14

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