沟槽功率器件的栅极沟槽的刻蚀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110087271.1

申请日：

2011-04-08

公开(公告)号：

CN102184862A

公开(公告)日：

2011-09-14

发明(设计)人：

吕宇强

申请人：

申请人地址：

200233 上海市虹漕路385号

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陈亮

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-07-24	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101634831566 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2011100872711 申请公布日:20110914
2011-11-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101127313459 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2011100872711 申请日:20110408
2011-09-14	公开	公开

共 50 条

[1]

沟槽功率器件的制作方法 [P].

沈思杰 ;

张怡 .

中国专利 :CN103021869A ,2013-04-03

[2]

具有沟槽型栅极的功率器件的制作方法 [P].

季康 ;

严强生 ;

陈宏 .

中国专利 :CN119381250A ,2025-01-28

[3]

沟槽型功率器件的沟槽栅结构 [P].

常虹 .

中国专利 :CN211455690U ,2020-09-08

[4]

沟槽功率器件 [P].

杨彦涛 ;

陶玉美 ;

赵学锋 ;

汤光洪 ;

罗永华 .

中国专利 :CN205789987U ,2016-12-07

[5]

一种沟槽功率器件的制造方法 [P].

刘磊 ;

苗跃 ;

王鹏飞 ;

龚轶 .

中国专利 :CN104008976A ,2014-08-27

[6]

沟槽功率器件 [P].

杨彦涛 ;

赵金波 ;

陈琛 ;

梅良波 ;

彭博威 .

中国专利 :CN205944060U ,2017-02-08

[7]

沟槽功率器件 [P].

杨彦涛 ;

王平 ;

夏志平 ;

李云飞 ;

周艳春 .

中国专利 :CN205863137U ,2017-01-04

[8]

沟槽功率器件 [P].

杨彦涛 ;

向璐 ;

王珏 ;

曹俊 ;

吕焕秀 .

中国专利 :CN205911311U ,2017-01-25

[9]

沟槽功率器件及沟槽功率器件的制备方法 [P].

李理 .

中国专利 :CN119277805A ,2025-01-07

[10]

沟槽功率器件及沟槽功率器件的制备方法 [P].

李理 .

中国专利 :CN119421454A ,2025-02-11

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