静电吸附装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820191240.8

申请日：

2018-02-02

公开(公告)号：

CN207818551U

公开(公告)日：

2018-09-04

发明(设计)人：

王敏磊栾剑峰刘家桦

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-04	授权	授权

共 50 条

[1]

静电吸附装置 [P].

姚恒山 ;

姜玮 ;

沈子扬 ;

付大勇 ;

孟光辉 .

中国专利 :CN222813577U ,2025-04-29

[2]

静电卡盘、静电吸附装置及半导体设备 [P].

金屹梵 ;

刘普然 .

中国专利 :CN223321252U ,2025-09-09

[3]

静电吸附装置 [P].

王健 .

中国专利 :CN203791055U ,2014-08-27

[4]

静电吸附装置及晶圆吸附方法 [P].

胡淼龙 ;

罗兴安 ;

詹昶 .

中国专利 :CN110556332B ,2019-12-10

[5]

静电吸附装置 [P].

徐绍宸 ;

李富海 ;

鲍晓亮 ;

蒉张涛 ;

魏继江 .

中国专利 :CN211890875U ,2020-11-10

[6]

静电吸附装置 [P].

张生 ;

方青 ;

王宁威 ;

邢俊杰 ;

林清俊 ;

李晓东 ;

康钊 .

中国专利 :CN203063009U ,2013-07-17

[7]

静电吸附装置 [P].

杨新林 .

中国专利 :CN217747496U ,2022-11-08

[8]

静电吸附装置 [P].

张生 ;

方青 ;

王宁威 ;

邢俊杰 ;

林清俊 ;

李晓东 ;

康钊 .

中国专利 :CN203063010U ,2013-07-17

[9]

静电吸附装置 [P].

韩平 ;

潘立刚 ;

马智宏 ;

陆安祥 ;

王纪华 ;

张睿 .

中国专利 :CN201628652U ,2010-11-10

[10]

静电吸附装置 [P].

狩野正树 ;

山村和市 .

中国专利 :CN100490110C ,2007-11-28

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