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一种蚀刻液重复利用装置及其利用方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010946665.7
申请日：
2020-09-10
公开(公告)号：
CN112020230A
公开(公告)日：
2020-12-01
发明(设计)人：
夏东
申请人：
申请人地址：
629000 四川省遂宁市船山区中环线龙津路1号2楼2-3办公室
IPC主分类号：
H05K306
IPC分类号：
代理机构：
成都巾帼知识产权代理有限公司 51260
代理人：
邢伟
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H05K 3/06 申请日:20200910 |
| 2020-12-01 | 公开 | 公开 |