共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种载物装置及镀膜设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811094422.4
申请日：
2018-09-19
公开(公告)号：
CN110923655A
公开(公告)日：
2020-03-27
发明(设计)人：
顾孛
严鹏
申请人：
申请人地址：
215300 江苏省苏州市昆山市高新区晨丰路18号
IPC主分类号：
C23C1450
IPC分类号：
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
胡彬
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/50 申请日:20180919 |
| 2020-03-27 | 公开 | 公开 |