用于化学气相沉积工艺的喷淋头

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210019415.4

申请日：

2012-01-21

公开(公告)号：

CN103074601A

公开(公告)日：

2013-05-01

发明(设计)人：

梁秉文陈勇叶芷飞

申请人：

申请人地址：

314300 浙江省嘉兴市海盐县盐北路211号科创园西区1号楼3楼

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

郑玮

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-05-01	公开	公开
2013-06-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101465117818 IPC(主分类):C23C 16/455 专利申请号:2012100194154 申请日:20120121
2016-05-25	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101733012704 IPC(主分类):C23C 16/455 专利申请号:2012100194154 申请公布日:20130501

共 50 条

[1]

用于化学气相沉积工艺的喷淋头 [P].

梁秉文 ;

陈勇 ;

叶芷飞 .

中国专利 :CN202450156U ,2012-09-26

[2]

用于化学气相沉积工艺的喷淋头 [P].

梁秉文 .

中国专利 :CN202543326U ,2012-11-21

[3]

喷淋头及化学气相沉积设备 [P].

乔徽 .

中国专利 :CN103074605A ,2013-05-01

[4]

喷淋头及化学气相沉积设备 [P].

乔徽 .

中国专利 :CN203007411U ,2013-06-19

[5]

化学气相沉积设备及其气体喷淋头 [P].

姜勇 ;

郭世平 ;

王家毅 ;

邹煜申 .

中国专利 :CN117385341A ,2024-01-12

[6]

化学气相沉积设备及其气体喷淋头 [P].

姜勇 ;

郭世平 ;

王家毅 ;

邹煜申 .

中国专利 :CN117385341B ,2024-02-09

[7]

用于化学气相沉积工艺的喷淋头和改善工艺均匀性的方法 [P].

梁秉文 .

中国专利 :CN103074604A ,2013-05-01

[8]

化学气相沉积外延设备用的喷淋头结构 [P].

朱建军 ;

王国斌 ;

张永红 .

中国专利 :CN102230165A ,2011-11-02

[9]

用于金属化学气相沉积设备反应室的进气喷淋头 [P].

冉军学 ;

胡强 ;

梁勇 ;

胡国新 ;

王军喜 ;

曾一平 ;

李晋闽 .

中国专利 :CN102492937A ,2012-06-13

[10]

喷淋头、化学气相沉积设备及其工作方法 [P].

储郁冬 ;

刘聪 .

中国专利 :CN118756116A ,2024-10-11

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