一种二维振动辅助激光扫描在位检测系统及其检测方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201510556255.0
申请日
2015-09-02
公开(公告)号
CN105081888B
公开(公告)日
2015-11-25
发明(设计)人
任明俊 孙立剑 殷跃红
申请人
申请人地址
200240 上海市闵行区东川路800号
IPC主分类号
B23Q1724
IPC分类号
代理机构
上海旭诚知识产权代理有限公司 31220
代理人
郑立
法律状态
实质审查的生效
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共 50 条
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