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检查装置和检查装置的清洁化方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910625558.1
申请日：
2019-07-11
公开(公告)号：
CN110780176B
公开(公告)日：
2020-02-11
发明(设计)人：
远藤朋也
小西显太朗
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G01R3126
IPC分类号：
G01R3128
B08B502
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;张会华
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-10-04 | 授权 | 授权 |
| 2020-03-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/26 申请日:20190711 |
| 2020-02-11 | 公开 | 公开 |