高分子聚合物层的清洗方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200610147869.4
申请日
2006-12-25
公开(公告)号
CN101211750A
公开(公告)日
2008-07-02
发明(设计)人
陈国庆 肖德元 颜进甫
申请人
申请人地址
201203上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号
H01L2100
IPC分类号
H01L213105 G03F716 G03F726 B08B302
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人
逯长明
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
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