一种籽晶检测用晶向测量装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202023063976.3
申请日
2020-12-18
公开(公告)号
CN214039939U
公开(公告)日
2021-08-24
发明(设计)人
陈志谋
申请人
申请人地址
225653 江苏省扬州市高邮市天山镇工业园区
IPC主分类号
G01B2100
IPC分类号
H01L2166
代理机构
金华市婺实专利代理事务所(普通合伙) 33340
代理人
胡恩晗
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种籽晶加工晶向调节夹具 [P]. 
邹健 ;
周小勇 .
中国专利 :CN212020497U ,2020-11-27
[2]
一种籽晶抛光打磨机 [P]. 
陈志谋 .
中国专利 :CN214723123U ,2021-11-16
[3]
一种籽晶粘结装置 [P]. 
陈志谋 .
中国专利 :CN214736219U ,2021-11-16
[4]
一种籽晶切割用夹具 [P]. 
陈志谋 .
中国专利 :CN214725431U ,2021-11-16
[5]
一种籽晶检测装置 [P]. 
吴春蕾 ;
徐泽林 ;
周迅来 ;
何中要 ;
尹德斌 ;
张伟建 .
中国专利 :CN223320311U ,2025-09-09
[6]
一种籽晶检测装置及籽晶检测系统 [P]. 
涂思永 .
中国专利 :CN211503937U ,2020-09-15
[7]
一种半导体晶圆晶向测量装置 [P]. 
杨阳 ;
杨昊 ;
杨振华 ;
管家辉 .
中国专利 :CN211122501U ,2020-07-28
[8]
一种籽晶锥度测量仪 [P]. 
陈志谋 .
中国专利 :CN214039845U ,2021-08-24
[9]
一种籽晶夹持装置和籽晶 [P]. 
徐永亮 ;
于海群 ;
施海斌 ;
姜恒 .
中国专利 :CN206858692U ,2018-01-09
[10]
一种籽晶夹持装置和籽晶 [P]. 
张永珍 ;
赖维明 ;
黄小林 ;
罗华彬 .
中国专利 :CN212983097U ,2021-04-16