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一种晶托表面平整度的检测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120827617.6
申请日：
2021-04-22
公开(公告)号：
CN215003473U
公开(公告)日：
2021-12-03
发明(设计)人：
李磊
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市惠山经济开发区城塘路10#
IPC主分类号：
G01B1130
IPC分类号：
代理机构：
南京北辰联和知识产权代理有限公司 32350
代理人：
王俊
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-03 | 授权 | 授权 |