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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2006-03-22 | 授权 | 授权 |
| 2002-01-23 | 公开 | 公开 |
| 2012-06-27 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101272909885 IPC(主分类):H01L 23/373 专利号:ZL001287923 申请日:19950411 授权公告日:20060322 终止日期:20110411 |
| 2001-12-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |