负型感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110039006.6

申请日：

2011-02-15

公开(公告)号：

CN102162996B

公开(公告)日：

2011-08-24

发明(设计)人：

藤田充

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F7038

IPC分类号：

G03F700 H01L21027

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-24	公开	公开
2013-07-17	授权	授权
2011-10-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101116510488 IPC(主分类):G03F 7/038 专利申请号:2011100390066 申请日:20110215
2016-05-25	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101732799444 IPC(主分类):G03F 7/038 专利号:ZL2011100390066 登记生效日:20160504 变更事项:专利权人变更前权利人:旭化成电子材料株式会社变更后权利人:旭化成株式会社变更事项:地址变更前权利人:日本东京都变更后权利人:日本东京都

共 50 条

[1]

负型感光性树脂组合物及固化浮雕图案的制造方法 [P].

矢本和久 ;

渋井智史 ;

村上航平 .

日本专利 :CN118938601A ,2024-11-12

[2]

负型感光性树脂组合物和固化浮雕图案的制造方法 [P].

藤冈孝亘 ;

清水建树 .

中国专利 :CN115039029A ,2022-09-09

[3]

感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法及固化膜 [P].

涩井智史 ;

村上航平 ;

矢本和久 ;

佐藤友香 .

日本专利 :CN121039568A ,2025-11-28

[4]

负型感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置 [P].

岩间翔太 .

日本专利 :CN118363270A ,2024-07-19

[5]

感光性树脂组合物和固化浮雕图案的制造方法 [P].

赖末友裕 ;

中村光孝 ;

井上泰平 ;

平田竜也 ;

佐佐木隆弘 .

中国专利 :CN108475020A ,2018-08-31

[6]

负型感光性树脂组合物、以及使用其的固化浮雕图案的制造方法及固化膜 [P].

佐藤友香 ;

涩井智史 .

日本专利 :CN120981770A ,2025-11-18

[7]

感光性树脂组合物、固化膜图案及其制造方法 [P].

刘福千 ;

梁育豪 .

中国专利 :CN118210200A ,2024-06-18

[8]

感光性树脂组合物、固化膜图案及其制造方法 [P].

刘福千 ;

梁育豪 .

中国专利 :CN118210199A ,2024-06-18

[9]

负型感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、及半导体装置 [P].

田村信史 ;

平田龙也 ;

吉田雅彦 .

中国专利 :CN104285184B ,2015-01-14

[10]

负型感光性树脂组合物、以及使用其的聚酰亚胺及固化浮雕图案的制造方法 [P].

平田竜也 ;

村上航平 ;

藤冈孝亘 .

中国专利 :CN112334833A ,2021-02-05

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