测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210174109.8

申请日：

2012-05-30

公开(公告)号：

CN103456654B

公开(公告)日：

2013-12-18

发明(设计)人：

伍强刘畅

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-12-18	公开	公开
2014-01-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101562725003 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2012101741098 申请日:20120530
2016-01-06	授权	授权

共 50 条

[1]

测量装置和测量方法 [P].

市泽康史 .

日本专利 :CN120584272A ,2025-09-02

[2]

测量系统和测量方法 [P].

伍强 ;

蒋运涛 .

中国专利 :CN105988297A ,2016-10-05

[3]

测量装置和流量测量方法 [P].

A·G·罗斯贝格 ;

K·巴托洛梅 ;

J·蒂默 ;

R·弗里德里希斯 ;

F·布尔 ;

J·赫尔维希 .

中国专利 :CN100412512C ,2005-04-06

[4]

测量方法 [P].

拉尔夫·比特 ;

卡米尔·黑费斯 ;

托马斯·赫纳 ;

马丁·基翁克 .

中国专利 :CN102628833A ,2012-08-08

[5]

测量方法 [P].

堀场圭人 ;

浦上太一 ;

石津诚二 ;

岩田和俊 ;

梅原将一 ;

岸本尚也 .

日本专利 :CN117367287A ,2024-01-09

[6]

测量方法 [P].

戴维·罗伯茨·麦克默特里 ;

德里克·马歇尔 .

中国专利 :CN105531563B ,2016-04-27

[7]

测量方法 [P].

N·潘迪 ;

廉晋 ;

S·U·雷曼 ;

M·J·J·贾克 .

中国专利 :CN110622068B ,2019-12-27

[8]

测量方法 [P].

王燕 ;

刘源 ;

保罗·邦凡蒂 .

中国专利 :CN108168484A ,2018-06-15

[9]

测量方法 [P].

约翰·查尔斯·乌尔德 ;

R·克罗斯兰 .

中国专利 :CN115151782A ,2022-10-04

[10]

测量方法 [P].

谢鸿志 ;

龙俊良 .

中国专利 :CN112687562A ,2021-04-20

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