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一种一体式双频激光干涉仪
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201010022988.3
申请日：
2010-01-19
公开(公告)号：
CN102128588A
公开(公告)日：
2011-07-20
发明(设计)人：
肖鹏飞
张志平
张晓文
任胜伟
池峰
陈勇辉
申请人：
申请人地址：
201203 上海市张江高科技园区张东路1525号
IPC主分类号：
G01B902
IPC分类号：
G01B1102
G02B2728
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
屈蘅;李时云
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-07-25 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101756183452 IPC(主分类):G01B 9/02 专利号:ZL2010100229883 变更事项:专利权人 变更前:上海微电子装备有限公司 变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司 变更事项:地址 变更前:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号 变更后:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号 |
| 2011-08-31 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101102910260 IPC(主分类):G01B 9/02 专利申请号:2010100229883 申请日:20100119 |
| 2011-07-20 | 公开 | 公开 |
| 2013-03-06 | 授权 | 授权 |