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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-03-28 | 授权 | 授权 |
| 2013-05-15 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101589226546 IPC(主分类):G01L 21/14 专利号:ZL201120294062X 变更事项:专利权人 变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号 变更后权利人:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号 登记生效日:20130422 |
| 2019-08-02 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01L 21/14 申请日:20110812 授权公告日:20120328 终止日期:20180812 |