一种硅片自动化学腐蚀机的控制系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310058264.8

申请日：

2013-02-25

公开(公告)号：

CN103144112B

公开(公告)日：

2013-06-12

发明(设计)人：

靳立辉王国瑞于书瀚张基龙

申请人：

申请人地址：

300384 天津市滨海新区高新区华苑产业园区（环外）海泰东路12号

IPC主分类号：

B25J918

IPC分类号：

代理机构：

天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211

代理人：

李莉华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-25	授权	授权
2020-01-07	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B25J 9/18 登记生效日:20191219 变更事项:专利权人变更前权利人:天津中环领先材料技术有限公司变更后权利人:中环领先半导体材料有限公司变更事项:地址变更前权利人:300384 天津市滨海新区高新区华苑产业区（环外）海泰东路12号变更后权利人:214200 江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道变更事项:共同专利权人变更后权利人:天津中环领先材料技术有限公司
2013-07-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101490730138 IPC(主分类):B25J 9/18 专利申请号:2013100582648 申请日:20130225
2013-06-12	公开	公开
2018-11-20	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B25J 9/18 登记生效日:20181031 变更事项:专利权人变更前权利人:天津市环欧半导体材料技术有限公司变更后权利人:天津中环领先材料技术有限公司变更事项:地址变更前权利人:300384 天津市滨海新区高新区华苑产业园区（环外）海泰东路12号变更后权利人:300384 天津市滨海新区高新区华苑产业区（环外）海泰东路12号

共 50 条

[1]

一种硅片自动化学腐蚀机的控制系统 [P].

靳立辉 ;

王国瑞 ;

于书瀚 ;

张基龙 .

中国专利 :CN203357453U ,2013-12-25

[2]

一种光纤化学腐蚀自动化控制系统 [P].

刘勇斌 ;

罗国全 ;

郑家容 ;

马修泉 .

中国专利 :CN211015125U ,2020-07-14

[3]

一种电气自动化智能控制系统 [P].

林蒙丹 ;

肖亚杰 ;

赵雪林 ;

吉智 ;

包西平 ;

朱涛 .

中国专利 :CN108211334A ,2018-06-29

[4]

一种自动旋合扭力控制系统 [P].

侯洪政 ;

陈泽海 .

中国专利 :CN206877167U ,2018-01-12

[5]

一种包线自动控制系统及方法 [P].

殷万君 ;

明正峰 ;

汶涛 .

中国专利 :CN109243719A ,2019-01-18

[6]

一种具有程序化控制系统的玻璃抛光机 [P].

杨汉文 ;

徐新生 .

中国专利 :CN103624663A ,2014-03-12

[7]

一种具有程序化控制系统的玻璃抛光机 [P].

杨汉文 ;

徐新生 .

中国专利 :CN203557250U ,2014-04-23

[8]

一种保险管自动装配控制系统 [P].

刘金刚 .

中国专利 :CN205810709U ,2016-12-14

[9]

一种智能自动化专机控制系统 [P].

屠灵华 .

中国专利 :CN108326611A ,2018-07-27

[10]

一种自动化键盘扫描控制系统及自动化控制系统 [P].

张新鹏 .

中国专利 :CN107861439A ,2018-03-30

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