基于四标准光轴的线位移激光干涉仪校准方法与装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310475436.1

申请日：

2013-10-11

公开(公告)号：

CN103528500B

公开(公告)日：

2014-01-22

发明(设计)人：

胡鹏程谭久彬

申请人：

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

IPC主分类号：

G01B902

IPC分类号：

G01B1102

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-02-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101573740408 IPC(主分类):G01B 9/02 专利申请号:2013104754361 申请日:20131011
2015-02-11	授权	授权
2014-01-22	公开	公开

共 50 条

[1]

基于双标准光轴的线位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

谭久彬 ;

胡鹏程 ;

毛帅 .

中国专利 :CN103499283A ,2014-01-08

[2]

基于三标准光轴的线位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

胡鹏程 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN103499279A ,2014-01-08

[3]

基于四标准光轴气浴的线位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

胡鹏程 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN103528501B ,2014-01-22

[4]

基于四标准光轴的角位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

胡鹏程 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN103499277B ,2014-01-08

[5]

基于双标准光轴气浴的线位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

胡鹏程 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN103499287A ,2014-01-08

[6]

基于三标准光轴气浴的线位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

胡鹏程 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN103499288B ,2014-01-08

[7]

基于双标准光轴的角位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

胡鹏程 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN103499292A ,2014-01-08

[8]

形貌补偿式四光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

胡鹏程 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN103499278B ,2014-01-08

[9]

基于四标准光轴气浴的角位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

谭久彬 ;

胡鹏程 ;

毛帅 .

中国专利 :CN103499291B ,2014-01-08

[10]

四光轴补偿及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

胡鹏程 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN103528505A ,2014-01-22

← 1 2 3 4 5 →