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一种石英晶片的圆边清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921707654.2
申请日：
2019-10-12
公开(公告)号：
CN210816624U
公开(公告)日：
2020-06-23
发明(设计)人：
夏良军
申请人：
申请人地址：
210000 江苏省南京市经济技术开发区新港大道80-2号
IPC主分类号：
B08B1100
IPC分类号：
B08B1102
B08B310
B08B1300
代理机构：
南京常青藤知识产权代理有限公司 32286
代理人：
金迪
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-23 | 授权 | 授权 |