压电执行器及其制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN200680039823.9
申请日
2006-10-20
公开(公告)号
CN101356661A
公开(公告)日
2009-01-28
发明(设计)人
M·施罗德 M·韦格尔
申请人
申请人地址
德国汉诺威
IPC主分类号
H01L4124
IPC分类号
H01L41083
代理机构
中国专利代理(香港)有限公司
代理人
卢江;刘春元
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
压电执行器及其制造方法 [P]. 
K·卢比茨 ;
A·沃尔夫 ;
H·穆尔曼·比泽内克 .
中国专利 :CN1672272A ,2005-09-21
[2]
压电执行器以及制造压电执行器的方法 [P]. 
A·多纳-赖塞尔 .
中国专利 :CN101647131B ,2010-02-10
[3]
压电执行器以及制造该压电执行器的方法 [P]. 
F·梅 .
中国专利 :CN101218690A ,2008-07-09
[4]
用于制造压电执行器的方法和压电执行器 [P]. 
K.本克特 ;
H.贝丁格 ;
S.德内勒 ;
H.J.卡斯特尔 ;
A.伦克 ;
C.舒 .
中国专利 :CN102918674A ,2013-02-06
[5]
压电执行器元件和用于制造压电执行器元件的制造方法 [P]. 
C.朱姆斯特鲁尔 .
中国专利 :CN108886091B ,2018-11-23
[6]
压电陶瓷多层执行器及其制造方法 [P]. 
A·伦克 ;
C·舒 ;
A·冈斯特 ;
S·科尼利 ;
A·曼托万 ;
J·扎普夫 .
中国专利 :CN101601147A ,2009-12-09
[7]
压电元件、压电执行器以及压电元件的制造方法 [P]. 
古林智一 ;
国分刚 ;
两角浩一 .
中国专利 :CN107887498A ,2018-04-06
[8]
压电液压执行器和用于运行这种压电液压执行器的方法 [P]. 
G.巴赫迈尔 ;
C.巴赫曼 ;
I.维多利亚 ;
W.佐尔斯 .
中国专利 :CN110462223B ,2019-11-15
[9]
用于制造压电叠堆执行器的方法和压电叠堆执行器 [P]. 
凯文·施佩尔 .
中国专利 :CN113508471A ,2021-10-15
[10]
MEMS压电执行器及其扬声器 [P]. 
吴清清 ;
黄景泽 ;
高传海 ;
效烨辉 .
中国专利 :CN215268715U ,2021-12-21