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一种用于晶圆盒智能搬运设备的机械手

被引：0
申请号：
CN202122547912.9
申请日：
2021-10-22
公开(公告)号：
CN216422565U
公开(公告)日：
2022-05-03
发明(设计)人：
赵建勇
申请人：
申请人地址：
215334 江苏省苏州市昆山开发区章基路189号3-107室
IPC主分类号：
B25J1100
IPC分类号：
B25J1800
代理机构：
南京禾易知识产权代理有限公司 32320
代理人：
段文静
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-05-03 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆搬运机械手 [P]. 
刘全益 ;
胡敬祥 ;
胡灿辉 .
中国专利 :CN218255164U ,2023-01-10
[2]
一种晶圆搬运机械手 [P]. 
李玉慧 ;
张正中 ;
滕文聪 ;
赵越 .
中国专利 :CN223273263U ,2025-08-26
[3]
一种用于搬运晶盒的机械手 [P]. 
朱亮 ;
沈文杰 ;
周建灿 ;
鲁冲昊 ;
陈聪 ;
张凌峰 ;
张磊 ;
谢文 ;
杨希测 .
中国专利 :CN213439671U ,2021-06-15
[4]
晶圆搬运机械手 [P]. 
韩良华 .
中国专利 :CN204271064U ,2015-04-15
[5]
一种用于晶圆盒可靠高效搬运的机械手 [P]. 
叶磊 ;
戴军 ;
王宏军 ;
林睿 ;
厉茂海 .
中国专利 :CN206154316U ,2017-05-10
[6]
一种用于8寸晶圆盒的搬运机械手 [P]. 
赵书荣 ;
吴磊 .
中国专利 :CN223493248U ,2025-10-31
[7]
一种晶圆搬运机械手 [P]. 
杨仕品 .
中国专利 :CN212953024U ,2021-04-13
[8]
一种晶圆搬运机械手 [P]. 
张松林 .
中国专利 :CN220783915U ,2024-04-16
[9]
一种晶圆搬运机械手 [P]. 
尹诚诚 ;
周卫国 ;
刘冬梅 ;
王强 ;
董纯洁 .
中国专利 :CN210551302U ,2020-05-19
[10]
一种晶圆搬运机械手 [P]. 
尹诚诚 ;
周卫国 ;
刘冬梅 ;
王强 ;
董纯洁 .
中国专利 :CN209804624U ,2019-12-17
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