一种晶圆平整度检测分选装置

被引：0

申请号：

CN202123393515.7

申请日：

2021-12-24

公开(公告)号：

CN216757269U

公开(公告)日：

2022-06-17

发明(设计)人：

张旭东丁行健

申请人：

申请人地址：

314100 浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道归谷二路18号

IPC主分类号：

B07C502

IPC分类号：

B07C534 B07C536 B07C538

代理机构：

上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227

代理人：

汪文芹

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆框架平整度检测装置 [P].

王宜 .

中国专利 :CN210346618U ,2020-04-17

[2]

一种多合一晶圆平整度检测装置 [P].

王建安 ;

王栋 .

中国专利 :CN223106916U ,2025-07-15

[3]

一种晶圆平整度检测设备 [P].

沈军 .

中国专利 :CN222260966U ,2024-12-27

[4]

一种晶圆的平整度的检测装置 [P].

黄良斌 ;

黄良臻 ;

蔡福海 ;

黄良辉 ;

王文磊 .

中国专利 :CN217058736U ,2022-07-26

[5]

一种晶圆表面平整度检测装置 [P].

李海亮 ;

俞辉 ;

甘志金 .

中国专利 :CN218238756U ,2023-01-06

[6]

自动晶圆表面平整度检测装置 [P].

殷跃红 ;

赵雨阳 ;

徐俊东 .

中国专利 :CN114812448A ,2022-07-29

[7]

一种晶圆框架平整度检测治具 [P].

孟强 ;

陈志远 ;

聂伟 ;

王坤 ;

魏通 .

中国专利 :CN208567764U ,2019-03-01

[8]

一种半导体晶圆平整度检测设备 [P].

蒋红光 ;

张旭东 ;

王晓飞 ;

徐鑫 .

中国专利 :CN113074626A ,2021-07-06

[9]

一种晶圆平整度的检测装置及方法 [P].

陈浩 ;

张峰 ;

顾凯峰 ;

吴城垦 ;

寿浙琼 ;

张羽丰 ;

柴晓程 ;

冯磊 .

中国专利 :CN118583113A ,2024-09-03

[10]

一种晶圆流片表面平整度检测装置 [P].

朱武平 ;

沈泽康 .

中国专利 :CN211012835U ,2020-07-14

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