激光蚀刻机的光路设计控制系统及控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510982194.4

申请日：

2015-12-22

公开(公告)号：

CN106903438A

公开(公告)日：

2017-06-30

发明(设计)人：

叶腾彭国红俞守纲

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市洪山区光谷大道16号楚天激光大楼五楼

IPC主分类号：

B23K26362

IPC分类号：

B23K26064 B23K26046

代理机构：

北京神州华茂知识产权有限公司 11358

代理人：

吴照幸

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-15	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B23K 26/362 申请公布日:20170630
2017-06-30	公开	公开
2017-10-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101751680170 IPC(主分类):B23K 26/362 专利申请号:2015109821944 申请日:20151222

共 50 条

[1]

激光陀螺光路控制系统 [P].

金世龙 .

中国专利 :CN100386600C ,2005-04-06

[2]

激光美容机激光效率的控制系统及控制方法 [P].

李鼎 ;

孙文 ;

彭国红 .

中国专利 :CN101919731A ,2010-12-22

[3]

多光路激光器的分时控制系统 [P].

张健 ;

张庆茂 ;

李泽曦 ;

吴锐欢 ;

陈国 ;

郭亮 ;

刘颂豪 .

中国专利 :CN202910456U ,2013-05-01

[4]

蚀刻控制系统和蚀刻控制方法 [P].

鹤田丰久 ;

丸本洋 ;

李水根 ;

榎本正志 .

日本专利 :CN117747481A ,2024-03-22

[5]

蚀刻控制系统和蚀刻控制方法 [P].

鹤田丰久 ;

丸本洋 ;

李水根 ;

榎本正志 .

日本专利 :CN117747483A ,2024-03-22

[6]

扫路机控制系统、控制方法及扫路机 [P].

严东 ;

梁建军 ;

刘华亮 .

中国专利 :CN115476793B ,2024-08-23

[7]

光路控制系统及光模块 [P].

于登群 ;

孙雨舟 ;

陈龙 ;

王冬寒 ;

李伟龙 .

中国专利 :CN107045197B ,2017-08-15

[8]

光路控制系统及光模块 [P].

于登群 ;

孙雨舟 ;

陈龙 .

中国专利 :CN107462987B ,2017-12-12

[9]

扫路机控制系统、控制方法及扫路机 [P].

严东 ;

梁建军 ;

刘华亮 .

中国专利 :CN115476793A ,2022-12-16

[10]

蚀刻控制装置、蚀刻控制方法以及蚀刻控制系统 [P].

鹤田丰久 ;

丸本洋 ;

李水根 ;

榎本正志 .

日本专利 :CN117747482A ,2024-03-22

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