晶圆放置装置及放置晶圆的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610239031.1

申请日：

2016-04-18

公开(公告)号：

CN107305856A

公开(公告)日：

2017-10-31

发明(设计)人：

年四军简子杰李小金董攀林

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

高静;吴敏

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-01	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/673 申请公布日:20171031
2017-10-31	公开	公开
2017-11-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20160418

共 50 条

[1]

晶圆放置装置及放置方法 [P].

罗卫 ;

张光法 ;

陈双 ;

黄春花 ;

余文博 .

中国专利 :CN120261334A ,2025-07-04

[2]

晶圆放置装置 [P].

邬璐磊 ;

闫晓东 ;

丁杰 .

中国专利 :CN203218237U ,2013-09-25

[3]

晶圆放置装置 [P].

侯康 .

中国专利 :CN223711650U ,2025-12-23

[4]

晶圆放置装置及晶圆取放设备 [P].

潘磊 .

中国专利 :CN210837688U ,2020-06-23

[5]

晶圆放置装置及晶圆取放设备 [P].

潘磊 .

中国专利 :CN112447563A ,2021-03-05

[6]

晶圆载盘放置装置 [P].

徐守波 ;

李孟轩 ;

翟虎 ;

刘志彪 .

中国专利 :CN222906288U ,2025-05-27

[7]

一种晶圆棒放置装置 [P].

贡艺强 ;

梁志慧 ;

王猛 ;

林雪龙 ;

王晓鹏 ;

李喜珍 ;

邢玉军 .

中国专利 :CN214672544U ,2021-11-09

[8]

一种PECVD设备晶圆抬升及放置装置 [P].

宋沛毅 ;

王敏 ;

康永新 ;

朱江江 ;

张永聪 ;

张磊 ;

卫晓冲 ;

陈嘉荣 ;

康冬妮 ;

张慧俊 ;

范新丽 .

中国专利 :CN223033450U ,2025-06-27

[9]

一种晶圆取粒机载盘放置装置 [P].

李志卫 ;

张仕俊 ;

何浪 .

中国专利 :CN214446232U ,2021-10-22

[10]

一种晶圆干燥系统及晶圆干燥方法 [P].

徐铭 ;

李盼盼 ;

吴凌峰 ;

陈丁堃 ;

刘大威 ;

陈新来 ;

廖世保 .

中国专利 :CN117329790A ,2024-01-02

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