一种用于提高生产中工艺稳定性的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910862345.0

申请日：

2019-09-12

公开(公告)号：

CN110620040B

公开(公告)日：

2019-12-27

发明(设计)人：

史丹丹胡明罗世金张帜夏志良

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室

IPC主分类号：

H01L21324

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

深圳市六加知识产权代理有限公司 44372

代理人：

向彬

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-22	授权	授权
2020-01-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/324 申请日:20190912
2019-12-27	公开	公开

共 50 条

[1]

一种提高制程稳定性的加工工艺 [P].

王春生 ;

王珏 ;

曹丽坚 .

中国专利 :CN117644555A ,2024-03-05

[2]

一种提高热头工艺稳定性的控制方法 [P].

秦红波 ;

李晓刚 ;

王映红 ;

周涛 ;

信晓兵 ;

郑立康 ;

焦连辉 ;

霍建生 ;

唐伟 .

中国专利 :CN117655121A ,2024-03-08

[3]

一种用于提高合金SLM工艺稳定性与拓宽工艺窗口的方法 [P].

侯娟 ;

黄海军 ;

闵师领 ;

范晓东 ;

杨义 ;

张恺 ;

王皞 .

中国专利 :CN113042751A ,2021-06-29

[4]

提高玻璃熔窑工艺稳定性的方法及玻璃生产方法 [P].

李青 ;

李赫然 ;

姚文龙 ;

王小虎 ;

方军 ;

王文顺 ;

王俊 ;

汪葵 ;

何怀胜 ;

赵玉乐 ;

石志强 ;

田海峰 .

中国专利 :CN115959815B ,2025-03-18

[5]

一种提高草莓汁色泽与稳定性的生产工艺 [P].

初乐 ;

赵晓丹 ;

赵岩 ;

李根 ;

刘雪梅 ;

吴茂玉 ;

马寅斐 ;

孟秀芹 ;

和法涛 ;

孟园 ;

刘光鹏 ;

潘少香 ;

孔天宇 ;

刘畅 ;

王鹏 .

中国专利 :CN118975633A ,2024-11-19

[6]

提高硅化物热稳定性的方法 [P].

廖纬武 ;

曾令旭 ;

郑志祥 .

中国专利 :CN1353449A ,2002-06-12

[7]

一种提高面粉制品色泽稳定性的加工工艺 [P].

潘仁飞 ;

黄其芹 .

中国专利 :CN112314853A ,2021-02-05

[8]

提高多次曝光稳定性的栅极返工工艺 [P].

张亮 ;

毛智彪 .

中国专利 :CN102446732A ,2012-05-09

[9]

一种可提高化学气相沉积工艺稳定性的方法 [P].

张文锋 .

中国专利 :CN101381864A ,2009-03-11

[10]

提高多晶硅栅极刻蚀工艺稳定性的方法 [P].

唐在峰 ;

方超 ;

任昱 ;

张旭昇 .

中国专利 :CN103354205A ,2013-10-16

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