基于MEMS技术的差压流量传感器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720446896.5

申请日：

2017-04-26

公开(公告)号：

CN206818257U

公开(公告)日：

2017-12-29

发明(设计)人：

王建国申亚琪

申请人：

申请人地址：

215123 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区05幢102室

IPC主分类号：

G01F138

IPC分类号：

代理机构：

南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297

代理人：

陆明耀

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-29	授权	授权

共 50 条

[1]

基于MEMS技术的差压流量传感器及其加工方法 [P].

王建国 ;

申亚琪 .

中国专利 :CN106959138B ,2024-02-23

[2]

基于MEMS技术的差压流量传感器及其加工方法 [P].

王建国 ;

申亚琪 .

中国专利 :CN106959138A ,2017-07-18

[3]

一种基于MEMS技术的差压传感器 [P].

赵旭 ;

张迎新 ;

徐凯凯 ;

刘萌 .

中国专利 :CN221198757U ,2024-06-21

[4]

差压动量流量传感器 [P].

冯威 ;

王双起 .

中国专利 :CN203259197U ,2013-10-30

[5]

热差压流量传感器 [P].

张宾 ;

马鹏飞 ;

邱国财 ;

刘光亮 ;

郭林林 ;

曾伟东 ;

李国宁 ;

许文吉 ;

奉贞丽 ;

陈维孝 ;

陈新准 ;

刘新雅 ;

张运龙 ;

何伟生 ;

郑晓银 ;

傅王勇 ;

黄达荣 .

中国专利 :CN214224225U ,2021-09-17

[6]

基于MEMS技术的无线无源流量传感器 [P].

冀健龙 ;

霍远樑 ;

李朋伟 ;

胡杰 ;

桑胜波 ;

张文栋 .

中国专利 :CN106197577A ,2016-12-07

[7]

基于MEMS技术的压力传感器 [P].

宋雅伟 ;

周兴 ;

林恒华 .

中国专利 :CN204924511U ,2015-12-30

[8]

V型差压传感器和带有V型差压传感器的流量测量系统 [P].

李俊毅 ;

王徐坚 ;

俞永和 ;

陈思成 ;

汤俐敏 .

中国专利 :CN222866108U ,2025-05-13

[9]

MEMS流量传感器 [P].

张旭辉 ;

徐爱东 ;

卞玉民 ;

杨拥军 .

中国专利 :CN207090992U ,2018-03-13

[10]

柔性平板波压差式微流量传感器 [P].

贾宏光 ;

吴一辉 ;

胡友旺 .

中国专利 :CN2752730Y ,2006-01-18

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