一种气体排放装置和刻蚀设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520651066.7

申请日：

2015-08-26

公开(公告)号：

CN204874747U

公开(公告)日：

2015-12-16

发明(设计)人：

刘林李明晖杨晓峰陈建吕耀军姜秀强

申请人：

申请人地址：

611731 四川省成都市高新区（西区）合作路1188号

IPC主分类号：

C23F108

IPC分类号：

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

罗瑞芝;陈源

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-16	授权	授权

共 50 条

[1]

气体分配盘拆卸装置和刻蚀设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN212471321U ,2021-02-05

[2]

一种气体排放装置 [P].

伍灵 ;

刘强 ;

徐杨华 ;

荆黎 .

中国专利 :CN209501268U ,2019-10-18

[3]

一种气体排放装置 [P].

樊旗根 ;

史久方 .

中国专利 :CN203100423U ,2013-07-31

[4]

一种气体排放装置 [P].

任永强 .

中国专利 :CN207831951U ,2018-09-07

[5]

一种用于排放气体的气体处理装置及其气体排放装置 [P].

王晓丰 .

中国专利 :CN205048501U ,2016-02-24

[6]

一种脱味设备用气体排放装置 [P].

姜子铭 ;

姜子崇 ;

姜学裕 .

中国专利 :CN221536041U ,2024-08-16

[7]

一种气体安全排放装置 [P].

李全伟 ;

谢丕崇 ;

韦惠兰 ;

李宏君 .

中国专利 :CN209287016U ,2019-08-23

[8]

一种气体稀释排放装置 [P].

吴坚 ;

姜春祥 ;

张焊宇 ;

王佳丽 ;

胡翎榆 ;

相露婷 ;

吴春安 ;

竹惠燕 .

中国专利 :CN223490726U ,2025-10-31

[9]

一种气体安全排放装置 [P].

康建生 ;

晋冠杰 .

中国专利 :CN215635717U ,2022-01-25

[10]

一种油槽气体排放装置 [P].

周龙德 ;

杨文洁 ;

潘鑫鑫 ;

贾如磊 ;

李卫卫 ;

黄斌维 .

中国专利 :CN206447035U ,2017-08-29

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