传送机械手和用于利用机械手处理基板的装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910923137.7

申请日：

2019-09-27

公开(公告)号：

CN110957252A

公开(公告)日：

2020-04-03

发明(设计)人：

孔泰景韩基元李民济

申请人：

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

北京市中伦律师事务所 11410

代理人：

钟锦舜;王丽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20190927
2020-04-03	公开	公开

共 50 条

[1]

传送机械手 [P].

周亮 .

中国专利 :CN111933564A ,2020-11-13

[2]

传送机械手 [P].

板垣泰仁 .

中国专利 :CN1198698A ,1998-11-11

[3]

传送机械手 [P].

周亮 .

中国专利 :CN112133665B ,2025-07-04

[4]

传送机械手 [P].

周亮 .

中国专利 :CN112185878A ,2021-01-05

[5]

传送机械手 [P].

张宇波 .

中国专利 :CN203427032U ,2014-02-12

[6]

传送机械手 [P].

周亮 .

中国专利 :CN112133665A ,2020-12-25

[7]

传送机械手 [P].

周亮 .

中国专利 :CN212848349U ,2021-03-30

[8]

传送机械手 [P].

周亮 .

中国专利 :CN213752665U ,2021-07-20

[9]

传送机械手 [P].

邢建华 ;

靳浩 .

中国专利 :CN217798590U ,2022-11-15

[10]

基板传送机械手终端受动器 [P].

普及特·阿咖瓦 ;

丹尼尔·格林伯格 ;

徐松文 ;

杰弗里·布罗丁 ;

史蒂芬·V·桑索尼 ;

格伦·莫里 .

中国专利 :CN106489194B ,2017-03-08

← 1 2 3 4 5 →