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一种用于半导体物料清洗的清洗机及其载具
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202122005291.1
申请日：
2021-08-23
公开(公告)号：
CN215600337U
公开(公告)日：
2022-01-21
发明(设计)人：
林仁信
申请人：
申请人地址：
215416 江苏省苏州市太仓市双凤镇凤杨路38号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
B08B300
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-21 | 授权 | 授权 |