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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-06-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582461384 IPC(主分类):H01L 29/78 专利申请号:2011101853031 申请日:20110704 |
| 2019-03-19 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01L 29/78 登记生效日:20190227 变更事项:专利权人 变更前权利人:中国科学院微电子研究所 变更后权利人:北京北方华创微电子装备有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:100029 北京市朝阳区北土城西路3号 变更后权利人:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号 变更事项:共同专利权人 变更前权利人:北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 2013-01-09 | 公开 | 公开 |
| 2016-08-10 | 授权 | 授权 |
| 2019-03-19 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 29/78 变更事项:专利权人 变更前:中国科学院微电子研究所 变更后:中国科学院微电子研究所 变更事项:地址 变更前:100029 北京市朝阳区北土城西路3号 变更后:100029 北京市朝阳区北土城西路3号 变更事项:共同专利权人 变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 变更后:北京北方华创微电子装备有限公司 |