一种单晶炉热场用半导体石墨坩埚及其使用方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010669559.9

申请日：

2020-07-13

公开(公告)号：

CN112030223B

公开(公告)日：

2020-12-04

发明(设计)人：

武晨洁张培林武建军柴利春张作文王志辉

申请人：

申请人地址：

037002 山西省大同市新荣区花园屯村

IPC主分类号：

C30B1510

IPC分类号：

C30B1512 C30B2906

代理机构：

太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119

代理人：

杨凯;连慧敏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-04	公开	公开
2020-12-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 15/10 申请日:20200713
2021-11-30	授权	授权

共 50 条

[1]

一种直拉单晶炉热场用石墨坩埚 [P].

姜舰 ;

秦瑞锋 ;

戴小林 ;

崔彬 ;

王雅楠 ;

吴志强 .

中国专利 :CN109898134A ,2019-06-18

[2]

一种直拉单晶炉半导体石墨坩埚 [P].

武建军 ;

张培林 ;

柴利春 ;

张作文 ;

王志辉 .

中国专利 :CN111996585A ,2020-11-27

[3]

一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置 [P].

王庆辉 ;

王忠亮 ;

王皓田 .

中国专利 :CN115595654A ,2023-01-13

[4]

一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置 [P].

陈永贵 ;

张培林 ;

武建军 ;

柴利春 ;

张作文 ;

王志辉 .

中国专利 :CN111996584A ,2020-11-27

[5]

一种提高单晶炉热场坩埚使用寿命的方法及直拉单晶炉 [P].

周俭 .

中国专利 :CN102041550A ,2011-05-04

[6]

一种单晶炉的石墨热场 [P].

方汉春 .

中国专利 :CN201567389U ,2010-09-01

[7]

一种单晶炉热场 [P].

尚繁 ;

司佳勇 ;

周浩 ;

郭凯 .

中国专利 :CN205205271U ,2016-05-04

[8]

一种便于半导体晶体生长的石墨坩埚及其使用方法 [P].

武晨洁 ;

张培林 ;

武建军 ;

柴利春 ;

张作文 ;

王志辉 .

中国专利 :CN111962142A ,2020-11-20

[9]

单晶炉热场及其控制方法和单晶炉 [P].

李立峰 ;

曹森 ;

陈小龙 ;

李小东 ;

巴剑锋 ;

陈朝霞 .

中国专利 :CN112391676A ,2021-02-23

[10]

一种筒式单晶炉的半导体石墨热场 [P].

武建军 ;

张培林 ;

柴利春 ;

张作文 ;

王志辉 .

中国专利 :CN111996586A ,2020-11-27

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