具有双接触面的静电吸盘

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201020636343.4

申请日：

2010-12-01

公开(公告)号：

CN201966192U

公开(公告)日：

2011-09-07

发明(设计)人：

倪图强吴狄荒见淳一

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249

代理人：

张静洁;徐雯琼

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-05	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/683 变更事项:专利权人变更前:中微半导体设备（上海）有限公司变更后:中微半导体设备（上海）股份有限公司变更事项:地址变更前:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号变更后:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
2017-09-05	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的注销号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758727371 IPC(主分类):H01L 21/683 授权公告日:20110907 申请日:20101201 专利号:ZL2010206363434 登记号:2009310000663 出质人:中微半导体设备(上海)有限公司质权人:国家开发银行股份有限公司解除日:20170809
2015-04-22	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的生效号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101712122835 IPC(主分类):H01L 21/683 专利号:ZL2010206363434 登记号:2009310000663 登记生效日:20150202 出质人:中微半导体设备(上海)有限公司质权人:国家开发银行股份有限公司实用新型名称:具有双接触面的静电吸盘申请日:20101201 授权公告日:20110907
2020-12-18	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20101201 授权公告日:20110907
2011-09-07	授权	授权

共 50 条

[1]

具有接触面的锁定系统 [P].

安德烈·哈克 ;

奥利弗·哈克 ;

帕特里克·哈克 .

中国专利 :CN106232918A ,2016-12-14

[2]

具有多个接触面的热管散热结构 [P].

余孟遥 .

中国专利 :CN204649042U ,2015-09-16

[3]

具有新型接触面的射频测试头 [P].

傅依常 ;

傅玉荣 ;

黄鑫 .

中国专利 :CN208672692U ,2019-03-29

[4]

具有多个耳朵接触面的耳塞 [P].

T·J·帕卡德 ;

M·J·罗西尼 .

中国专利 :CN1215316A ,1999-04-28

[5]

具有凸凹接触面的避雷器电极 [P].

汪丽 ;

李杨 ;

李文联 .

中国专利 :CN205384917U ,2016-07-13

[6]

具有分离接触面的血液泵 [P].

罗伯特·贾维克 .

中国专利 :CN101730552A ,2010-06-09

[7]

增加导体接触面的装置 [P].

高平安 ;

贾玉涛 ;

李晓 ;

马保 ;

李晓伟 .

中国专利 :CN204441540U ,2015-07-01

[8]

具有激光加工的台面的静电吸盘 [P].

维杰·D·帕克 .

中国专利 :CN118743010A ,2024-10-01

[9]

具有接触面的传感器元件 [P].

T.于斯特尔 ;

J.施奈德 ;

C.加林格 ;

A.罗特曼 ;

F.布泽 ;

M.卢克斯 ;

M.罗森兰德 .

中国专利 :CN105324663B ,2016-02-10

[10]

用于接触基片的电接触面的方法和由具有电接触面的基片形成的装置 [P].

K·海泽 ;

L·阿米格斯 ;

H·施瓦茨鲍尔 ;

N·泽利格尔 ;

K·维德纳 ;

J·扎普夫 ;

M·雷汗 .

中国专利 :CN1575511A ,2005-02-02

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