一种能够保持真空度的溅射镀膜装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201520494966.5
申请日
2015-07-08
公开(公告)号
CN204874725U
公开(公告)日
2015-12-16
发明(设计)人
陈斌
申请人
申请人地址
311804 浙江省绍兴市诸暨市山下湖镇油竹蓬村208号
IPC主分类号
C23C1456
IPC分类号
C23C1434
代理机构
代理人
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
一种能够保持真空度的溅射镀膜装置 [P]. 
唐贵民 ;
闫都伦 ;
王克斌 .
中国专利 :CN205529009U ,2016-08-31
[2]
一种真空度保持装置 [P]. 
段镇企 .
中国专利 :CN216950739U ,2022-07-12
[3]
一种溅射镀膜装置 [P]. 
闫都伦 ;
王克斌 ;
吴细标 ;
唐贵民 .
中国专利 :CN204803397U ,2015-11-25
[4]
一种保持真空度稳定的真空锅炉 [P]. 
汪亚平 ;
李正斌 .
中国专利 :CN210399494U ,2020-04-24
[5]
一种真空溅射镀膜装置 [P]. 
闫都伦 ;
王克斌 ;
吴细标 ;
唐贵民 .
中国专利 :CN204803396U ,2015-11-25
[6]
一种能够快速成膜的溅射镀膜装置 [P]. 
徐玉仙 .
中国专利 :CN205088297U ,2016-03-16
[7]
一种真空度控制装置 [P]. 
邓力明 .
中国专利 :CN222506796U ,2025-02-18
[8]
一种真空度恒定的真空镀膜机 [P]. 
封文炎 ;
阮志明 ;
吴敬超 ;
林敏 ;
赖鸿飞 ;
廖俊峰 ;
王波 ;
魏城峰 .
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[9]
一种自动保持真空度的储粮桶 [P]. 
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[10]
一种测量灭弧室真空度的真空对比装置 [P]. 
雍少银 .
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