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一种单晶炉真空泵废油收集系统
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201520609234.6
申请日
:
2015-08-14
公开(公告)号
:
CN204851592U
公开(公告)日
:
2015-12-09
发明(设计)人
:
张明亮
赵险峰
王松涛
司鹏辉
申请人
:
申请人地址
:
471000 河南省洛阳市洛阳高新技术产业开发区滨河北路99号
IPC主分类号
:
F04B3900
IPC分类号
:
C30B1500
代理机构
:
洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120
代理人
:
罗民健
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2015-12-09
授权
授权
2018-09-04
专利权的终止
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):F04B 39/00 申请日:20150814 授权公告日:20151209 终止日期:20170814
共 50 条
[1]
一种单晶炉真空泵泵油自动添加系统
[P].
彭套
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彭套
;
司鹏辉
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司鹏辉
;
王峥
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王峥
;
吴继伟
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吴继伟
.
中国专利
:CN208455102U
,2019-02-01
[2]
一种真空泵废液收集系统
[P].
伍丹
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伍丹
;
罗成鑫
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罗成鑫
;
管均连
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管均连
;
饶小莉
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饶小莉
.
中国专利
:CN202469488U
,2012-10-03
[3]
一种单晶炉真空泵的保护过滤系统
[P].
王再雄
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王再雄
.
中国专利
:CN217473013U
,2022-09-23
[4]
一种单晶炉用双泵真空泵组
[P].
张永超
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西安创联新能源设备有限公司
西安创联新能源设备有限公司
张永超
;
颜宇豪
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机构:
西安创联新能源设备有限公司
西安创联新能源设备有限公司
颜宇豪
.
中国专利
:CN223689889U
,2025-12-19
[5]
单晶炉红磷真空泵清洁系统及方法
[P].
李敬德
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宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
李敬德
;
马玉怀
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机构:
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
马玉怀
;
杨凯
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机构:
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
杨凯
;
王黎光
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宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
王黎光
;
魏瑶
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机构:
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
魏瑶
;
殷效财
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宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
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殷效财
;
马彦新
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宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
马彦新
.
中国专利
:CN120759765A
,2025-10-10
[6]
一种单晶炉真空泵用安全支架
[P].
王峥
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王峥
;
吴继伟
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吴继伟
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司鹏辉
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司鹏辉
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王松涛
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王松涛
.
中国专利
:CN208455114U
,2019-02-01
[7]
一种单晶炉真空泵快速加油装置
[P].
侯继伟
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侯继伟
;
邢山山
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邢山山
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沈一峰
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沈一峰
.
中国专利
:CN211715329U
,2020-10-20
[8]
一种真空泵尾气废油收集装置
[P].
李培伟
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李培伟
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王占青
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王占青
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杨金勇
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杨金勇
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詹艳茹
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詹艳茹
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邢海伟
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邢海伟
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张龙
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张龙
.
中国专利
:CN206867934U
,2018-01-12
[9]
一种真空泵尾气废油收集装置
[P].
肖绍武
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肖绍武
;
李良强
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李良强
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王子琦
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王子琦
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李东晓
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李东晓
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彭皇云
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彭皇云
.
中国专利
:CN211189491U
,2020-08-07
[10]
单晶炉真空泵前过滤器
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刘小明
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刘小明
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李帅
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李帅
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吴海啸
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吴海啸
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高万里
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高万里
.
中国专利
:CN218281036U
,2023-01-13
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