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掩模版清洗液及掩模版的清洗方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110160957.2
申请日：
2021-02-05
公开(公告)号：
CN113009779A
公开(公告)日：
2021-06-22
发明(设计)人：
阳超
司继伟
杜武兵
雷蒙
陈德浇
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市南山区朗山路16号华瀚创新园办公楼D座102
IPC主分类号：
G03F182
IPC分类号：
代理机构：
广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205
代理人：
刘燚
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-22 | 公开 | 公开 |
| 2021-07-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/82 申请日:20210205 |