一种氧化物平面靶及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111081160.X

申请日：

2021-09-15

公开(公告)号：

CN113735567A

公开(公告)日：

2021-12-03

发明(设计)人：

李开杰邵学亮张来稳司振华朱刘

申请人：

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区

IPC主分类号：

C04B3501

IPC分类号：

C04B35622 C23C1435

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

颜希文;郝传鑫

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-03	公开	公开
2021-12-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/01 申请日:20210915

共 50 条

[1]

一种大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材及其制备方法 [P].

文宏福 ;

李鹏 .

中国专利 :CN112094103A ,2020-12-18

[2]

一种氧化物旋转靶材及其制备方法 [P].

张来稳 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

朱刘 .

中国专利 :CN113831141A ,2021-12-24

[3]

一种铝钕铟锌氧化物旋转靶及其制备方法 [P].

文宏福 .

中国专利 :CN112079626A ,2020-12-15

[4]

稀土钡铜氧化物超导靶材及其制备方法 [P].

刘苗 ;

朱林 ;

孙本双 ;

刘洋 .

中国专利 :CN119263808A ,2025-01-07

[5]

一种氧化锡锌陶瓷靶材及其制备方法 [P].

顾德盛 ;

张兴宇 ;

罗斯诗 ;

李开杰 ;

王奇峰 .

中国专利 :CN118930249A ,2024-11-12

[6]

一种氧化物靶材制备方法 [P].

陈惠鹏 ;

范裕阳 ;

李喜峰 ;

叶为熙 ;

林嘉明 ;

陈耿旭 ;

杨倩 .

中国专利 :CN117800711A ,2024-04-02

[7]

一种氧化铌平面靶材的制备方法及氧化铌平面靶材 [P].

张士察 ;

孙振德 .

中国专利 :CN104973864A ,2015-10-14

[8]

一种氧化物靶材及其制备方法 [P].

张高祥 ;

王奇峰 ;

李开杰 ;

熊浩 ;

谭洪蕾 .

中国专利 :CN118771857A ,2024-10-15

[9]

一种氧化物烧结体及其制备方法、氧化物靶材及应用 [P].

徐华 ;

杨开霞 .

中国专利 :CN117776675A ,2024-03-29

[10]

一种倍半氧化物复合激光陶瓷及其制备方法 [P].

范金太 ;

沈方樑 ;

孙炳恒 ;

张龙 ;

李恺 .

中国专利 :CN119822828A ,2025-04-15

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