离子束辅助多弧离子镀真空镀膜机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200920350080.8

申请日：

2009-12-29

公开(公告)号：

CN201614404U

公开(公告)日：

2010-10-27

发明(设计)人：

张健孟凡荣张军周景玉佟辉

申请人：

申请人地址：

110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街一号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002

代理人：

白振宇

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-10-27	授权	授权
2012-04-18	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101331727630 IPC(主分类):C23C 14/24 专利号:ZL2009203500808 变更事项:专利权人变更前:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司变更后:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司变更事项:地址变更前:110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街一号变更后:110197 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号
2018-02-16	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20091229 授权公告日:20101027 终止日期:20161229

共 50 条

[1]

一种离子束辅助多弧离子镀真空镀膜机 [P].

张健 ;

孟凡荣 ;

张军 ;

周景玉 ;

佟辉 .

中国专利 :CN102108487A ,2011-06-29

[2]

真空多弧离子镀膜机 [P].

林锡强 ;

陈孝田 .

中国专利 :CN201793722U ,2011-04-13

[3]

磁控溅射与多弧离子镀复合式真空镀膜机 [P].

戴今古 ;

张世伟 ;

徐成海 ;

张志军 .

中国专利 :CN201217685Y ,2009-04-08

[4]

自动镀膜多弧离子镀膜机 [P].

吴砚东 .

中国专利 :CN2619948Y ,2004-06-09

[5]

多弧离子真空镀膜机 [P].

田琳 ;

夏虎 ;

施戈 .

中国专利 :CN207596949U ,2018-07-10

[6]

多弧离子真空镀膜机 [P].

田琳 ;

夏虎 ;

施戈 .

中国专利 :CN107805786A ,2018-03-16

[7]

多弧离子数控真空镀膜机 [P].

王汉春 ;

张金兴 ;

罗来山 .

中国专利 :CN208917289U ,2019-05-31

[8]

多弧离子镀膜机 [P].

王君 ;

王思航 ;

闫超颖 ;

汪友林 ;

李昌华 .

中国专利 :CN214572201U ,2021-11-02

[9]

磁控溅射与多弧离子镀复合式真空镀膜方法 [P].

戴今古 ;

张世伟 ;

徐成海 ;

郭赛南 .

中国专利 :CN101307428A ,2008-11-19

[10]

磁控溅射与多弧离子镀复合式真空镀膜方法 [P].

范玉山 ;

黄桃 .

中国专利 :CN112458411A ,2021-03-09

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